東京威力科創大舉投資矽路

日本晶片製造設備大廠東京威力科創（Tokyo Electron）在昔有「矽路」之稱的日本東北地區，大舉投資，以強化未來幾個世代的量產技術，相關供應商也在鄰近園區設廠，創造出「東京威力科創供應鏈」，可望使東北地區重拾半導體重鎮的往日榮光。

日經新聞報導，東京威力科創正在宮城縣興建第三幢開發大樓，預定明年春季完工。東京威力科創宮城廠區開發並生產電漿蝕刻設備，開發單位負責測試以先進技術生產客戶規格的原型產品，並且準備量產。第一開發大樓的工程師則負責評估能否把客戶提供的晶圓，蝕刻成客戶企求的形狀，並且測試設備是否能在特定條件下，長期穩定運作。

除了兩座開發和生產大樓，東京威力科創宮城廠區也在2021年成立創新中心，和其他公司攜手研究。這座中心的核心為「彈性實驗室」（Flexible Lab），以虛擬實境（VR）技術投影出晶片製造設備設計稿的3D影像，以敲定零組件等細節，並驗證可維護性。

另一方面，東京威力科創在岩手縣奧州市處理晶圓沉積設備的東京威力科創科技解決方案公司（TEL），也在興建一座生產與物流中心，預定明年秋季完工。新大樓將有兩層樓，一樓是放置合作廠商生產零組件的物流中心，二樓生產沉積設備，以縮短出貨等待時間。

奧州工業園區的所有12塊土地都已有預定用途，五家企業預定設廠，其中四家據傳都是晶片製造相關，包括一家東京威力科創的子公司，顯見東京威力科創正在東北地區半導體復興的過程中，扮演超重要角色。

儘管許多日本半導體製造商已在投資競賽中落後海外企業，但在設備和材料領域仍保有實力。